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显示器&半导体设备配件加工的领军企业！ L-TECH
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干法蚀刻
Dry Etch
以最出色的加工技术和最顶尖的设备为基础，通过干法蚀刻生产出多种产品， 该领域的技术力正在通过不断的研究开发成长。
UPPER ELECTRODE
- 上电极
- 电极对产生等离子体（ Plasma）的作用
- 工艺气体的喷射装置
- 加工微细孔时的修边（Deburring）很重要
- Material : Aluminium 6061
LOWER ELECTRODE
- 下电极
- 玻璃支撑器作用
- 平面度、平行度都重要
- Material : Aluminium 5052
冷却板
- 降低腔内（Chamber）温度的设备
- 冷却线（Cooling line）并非采用枪孔钻
（Gun-drill）加工方式，而是加工水路线后，
组装外壳并进行焊接的方式，采用FSW技术 - 防止泄露很重要
- Material : Aluminium 5052
