Products

반도체 및 LCD/OLED/Solar Cell 및 방산 5축 부품 가공 전문기업 엘테크

Chemical Vapor Deposition

최상의 가공기술과 최첨단 설비를 기반으로 CVD관련 품목들을 생산하고 있으며, 이 분야에 대한 기술력은 이미 다양한 곳에서 입증되고 있습니다.

SUSCEPTOR

  • Heating plate(Max 450도)
  • Glass의 Heating 및 온도 유지 및 Glass 지지 및 고정의 역할
  • 온도 Uniformity 및 Vacuum Leak 방지 중요
  • 자동 정밀 압착성형 특허
  • FSW(Friction Stir Welding) 적용
  • Material : Aluminium 6061

DIFFUSER

  • 공정 Gas를 Glass에 균일하게 확산시켜주는 역할
  • 미세 Hole 가공 기술(Micro drill Ø0.35 ~ Ø0.50)
  • 균일한 미세 Hole 가공 가능
  • Material : Aluminium 6061

BACKING PLATE

  • 공정 Gas가 DIFFUSER에 균일하게 전달 될 수 있도록 확산을 시켜주는 역할
  • Material : Aluminium 6061

SHADOW FRAME

  • SUSCEPTOR에 안착된 Glass를 고정 시켜줌과 동시에 Glass의 작업 영역 Masking 역할
  • Material : Aluminium 6061