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반도체 및 LCD/OLED/Solar Cell 부품가공 전문기업 엘테크
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Chemical Vapor Deposition
최상의 가공기술과 최첨단 설비를 기반으로 CVD관련 품목들을 생산하고 있으며, 이 분야에 대한 기술력은 이미 다양한 곳에서 입증되고 있습니다.
SUSCEPTOR
- Heating plate(Max 450도)
- Glass의 Heating 및 온도 유지 및 Glass 지지 및 고정의 역할
- 온도 Uniformity 및 Vacuum Leak 방지 중요
- 자동 정밀 압착성형 특허
- FSW(Friction Stir Welding) 적용
- Material : Aluminium 6061
DIFFUSER
- 공정 Gas를 Glass에 균일하게 확산시켜주는 역할
- 미세 Hole 가공 기술(Micro drill Ø0.35 ~ Ø0.50)
- 균일한 미세 Hole 가공 가능
- Material : Aluminium 6061
BACKING PLATE
- 공정 Gas가 DIFFUSER에 균일하게 전달 될 수 있도록 확산을 시켜주는 역할
- Material : Aluminium 6061
SHADOW FRAME
- SUSCEPTOR에 안착된 Glass를 고정 시켜줌과 동시에 Glass의 작업 영역 Masking 역할
- Material : Aluminium 6061
