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반도체 및 LCD/OLED/Solar Cell 부품가공 전문기업 엘테크
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Dry Etch
건식식각
최상의 가공기술과 최첨단 설비를 기반으로 건식식각에 의한 여려 품목들을 생산하고 있으며 이 분야에 대한 기술력은 끊이 없는 연구개발을 통해 성장하고 있습니다.
UPPER ELECTRODE
- 상부전극
- Plasma 발생을 위한 전극의 역할
- 공정 Gas의 분사 장치
- 미세 Hole 가공 시 Deburring 중요
- Material : Aluminium 6061
LOWER ELECTRODE
- 하부전극
- Glass 지지대 역할
- 평면도, 평행도 중요
- Material : Aluminium 5052
COOLING PLATE
- Chamber 내의 온도를 낮춰주는 장치
- Cooling line이 Gun-drill 가공 방식이 아닌
수로 Line 가공 후 Cover를 조립하여 용접을
진행하는 방식으로 FSW 적용 - Leak 방지가 중요
- Material : Aluminium 5052
